全自動真空探針臺由美國MicroXact公司生產(chǎn)，該探針臺通過真空系統(tǒng)、氣體壓力系統(tǒng)及自動化軟件實現(xiàn)對系統(tǒng)真空腔內(nèi)真空度的精確控制，通過光學(xué)顯微鏡及搭配的數(shù)字成像系統(tǒng)實現(xiàn)對測試晶圓影像的捕捉及存儲，并通過軟件控制自動馬達(dá)根據(jù)設(shè)定程序?qū)崿F(xiàn)晶圓測試過程中的自動對準(zhǔn)及移動測試功能。同時配置的變溫載物臺通過加熱和冷卻裝置實現(xiàn)樣品的變溫測試目的。

技術(shù)規(guī)格：

1. 支持最大晶圓尺寸：200mm

2. X-Y軸移動重復(fù)性：+/- 2 mm

3. X-Y軸移動分辨率：100 nm

4. Z軸移動重復(fù)性：+/-2mm，移動分辨率：100nm

5. 可配置4至6只探針臂，可選配RF探針臂，可選配探針卡

6. 顯微鏡分辨率：4mm

7. 可測試溫度：77K~680K

8. MicroXact's XactTest軟件全自動控制壓力及平臺移動。