產(chǎn)品特點(diǎn)：

1，專為多種晶圓測試應(yīng)用而設(shè)計(jì)

• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV，ESD,1/f

• 射頻、毫米波、射頻頻率可設(shè)置可從26GHz到 110GHz或更高。

• 晶圓級可靠性-用于精確的壓力和測量條件
  

• 領(lǐng)先的測試執(zhí)行軟件套裝的驅(qū)動(dòng)程序
  

2，WaferWalletTM 操作平臺

• 設(shè)計(jì)有五個(gè)單獨(dú)的托盤，可按人體工學(xué)方式手動(dòng)裝載150、200或300毫米的“模型”晶圓

• 在多個(gè)溫度條件下全自動(dòng)測試可多達(dá)五個(gè)相同的晶圓
  

• 有在任何溫度下裝載/卸載晶片的獨(dú)特能力

3，ShielDEnvironment? 屏蔽環(huán)境

• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測環(huán)境，以得到zui佳的 1/f 超低噪測試結(jié)果

• 支援 fA 級超低噪 IV 量測

• 可編程的顯微鏡滑臺實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化之簡便操作

• 具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C

3，工效學(xué)設(shè)計(jì)及彈性選配

• 從正面輕松放置晶片或單個(gè)DUT
  

• 內(nèi)建防震系統(tǒng)

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測操作

• 安全測試管理系統(tǒng) (Safety Test Management, STM?)選配具自動(dòng)進(jìn)行露點(diǎn)控制功能

• 預(yù)留制冷機(jī)組空間，節(jié)省空間不占位

• 儀器架選配，可縮短射頻電纜之架設(shè)長度，提供zui高的量測機(jī)能