等離子電源

13.56MHz 等離子射頻電源，射頻功率 5-150W 可調

遠程等離子源，自動匹配器

清洗室

清洗室尺寸 ?180xH100mm

清洗數量

可同時清洗 3 支 TEM 樣品桿

適配品牌

美國 THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本電子（JEOL）

氣體控制

標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。0-500sccm/ 分，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

皮拉尼真空計，測量范圍 1.0E-5Pa~1E+5Pa

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面

真空泵

前級泵

抽氣速率 2.5 m3/h

分子泵

極限真空：LF<8*10-6Pa，CF<8*10-7Pa

分子泵抽速 85L/s（N2）

入口法蘭：DN63 ISO-K(LF)/ CF

質量保證

二年質保，終身維護

電    源

AC220V、50/60Hz，300W

產品尺寸

L565xW505xH560mm

包裝尺寸

L715xW655xH820mm

整機重量

68kg