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等離子灰化機 PR200/300/301

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詳細介紹

從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機
用途
●? 高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通?? 過氧化反應,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能?? 基(微量的水分及二氧化碳影響)。?? 同樣在氮氣等離子體中,氮原子被吸收在表面中,生?? 成-NH 2等官能基。
●? 硅晶圓蝕刻。
●? 材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
●? 石棉預處理(膜過濾灰化)。
●? 從電子設備到生化市場。
●? 低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
●? 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
●? 表面有機物去除
特點
●? RF為200 W的高性能輸出類型(PR200)。
●? 由于是尺寸緊湊的臺式機,很小的位置都可以安裝。
●? 同步,自動調諧,操作簡單(PR200)。
●? 等離子體反應器(灰化設備)(PR200)。
●? 同步、自動調諧(PR200)。

反應腔

[例]石棉分析前處理

規格

型號

PR200

PR300

PR301

模式

DP模式,桶型

控制部

高頻輸出

Max300W

頻率

13.56MHz

同調方式

手動2軸同調方式

反應部

反應腔

耐熱玻璃 Φ100×160mm

超硬質玻璃 Φ64×160mm×3室

耐熱玻璃 Φ118×160mm

反應氣體

1系統(氧氣)流量計

控制

手動密閉閥

自動減壓、自動密閉閥

配管材質

不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W350×D400×H500mm

W438×D520×H556mm

W438×D520×H630mm

重量

約10kg

約36kg

約34kg

電源

AC100V 15A

AC100V 7A


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