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日本雅馬拓 YAMATO等離子灰化機PR200

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產品特點

從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機。

詳細介紹


從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機。

用途:
? 高分子材料表面的官能基附與→粘合性、密著性提高。通過氧化反應,在表面生產-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影響)。
同樣在氮氣等離子體中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH2等官能基。
? 晶硅圓蝕刻。
? 材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
? 石棉預處理(膜過濾灰化)。
? 從電子設備到生化市場。
? 低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
? 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
? 表面有機物去除。

特點:
? RF為200W的高性能輸出類型(PR200)。
? 由于是尺寸緊湊的臺式機,很小的位置都可以安裝。
? 同步,自動調諧,操作簡單(PR200)。
? 等離子體反應器(灰化設備)(PR200)。
? 同步,自動調諧(PR200)。

產品優勢:
●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。
●對清洗樣品,沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。
●gao效的特制電極,是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構,可保證樣品可得到全面有效的清洗。


規格:

型號

PR200

PR301

方式

DP模式、圓柱形腔體

性能

發生器功率:

0-200W

0-300W

發生器頻率:

射頻RF13.56Mhz

發生器匹配方式:

自動匹配(Auto matching)

手動匹配(manul)

 

構成

腔體材質:

高硼硅玻璃

腔體內尺寸:

φ100×L160mm

φ118×L160mm

反應氣體:

一路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。

控制方式:

半自動控制

真空度顯示:

數字式皮拉尼傳感器,實時顯示腔體內真空度。

模擬式壓力表

配管材質:

SUS不銹鋼以及特氟龍

門:

                                            鉸鏈門

外形尺寸:

W350×D400×H500mm

W438×D520×H630mm

真空泵抽速:

4m3/hour

電源規格:

                                        AC220V  10A

重量:

  約25kg

   約34kg

附屬品


真空管件一套、真空轉接接頭一套、試料托盤一枚。


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