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Best tools 勻膠顯影一體機 SC100D
- 品牌:北京燕京電子
- 型號: SC100D
- 產地:北京 朝陽區
- 供應商報價:面議
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北京燕京電子有限公司
更新時間:2023-03-06 10:34:29
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銷售范圍售全國
入駐年限第6年
營業執照已審核
- 同類產品PMDS芯片制備系統(8件)
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產品特點
- SC100D勻膠顯影機是在SC100標準型勻膠機的基礎上增加了顯影系統,被設計為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。
SC100D在SC100勻膠機上增加了顯影液防濺罩,zui多可配備四路噴淋系統,包括顯影液和去離子水等,以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動噴液系統包括:噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。
SC100D使用工業級伺服馬達和高級PLC控制,7寸全彩觸屏人機操作界面。設計結構緊湊、簡單易用,可進行程控操作,具有優異的性價比。 詳細介紹
Best tools 勻膠顯影一體機 SC100D
圖片
簡介
SC100D勻膠顯影機是在SC100標準型勻膠機的基礎上增加了顯影系統,被設計為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。
SC100D在SC100勻膠機上增加了顯影液防濺罩,最多可配備四路噴淋系統,包括顯影液和去離子水等,以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動噴液系統包括:噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。
SC100D使用工業級伺服馬達和高級PLC控制,7寸全彩觸屏人機操作界面。設計結構緊湊、簡單易用,可進行程控操作,具有優異的性價比。
規格參數
項目
參數
基板最 大直徑
8英寸
轉速
0~10000RPM可調
轉速控制精度
1RPM
加速度
10-50000RPM/S(空載)
程序
可編程100組100步程序
運轉最 大時長
3000S
時間設置精度
0.1S
顯示
7”全彩觸摸屏
機體材料
HDPE內腔,SUS外殼,耐溶劑PC透明蓋
功能圖解
SC100D 外形尺寸
應用系統
PDMS芯片制作
MEMS器件加工