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德國Sentech 等離子刻蝕機 SI 500 RIE
- 品牌：德國Sentech
- 產地：歐洲 德國
- 供應商報價：￥5000000
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深圳市藍星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-04-27 09:57:23 -
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入駐年限第7年
營業執照已審核
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產品特點
- 德國Sentech 等離子刻蝕機 SI 500 RIE，RIE 蝕刻機，最大 8 英寸晶圓, 帶可選的 ICP 源擴展
詳細介紹
德國Sentech 等離子刻蝕機 SI 500 RIE
SI 500 RIE
帶 He 背面冷卻的襯底電極
基板的背面冷卻保證了 +/-1K的溫度穩定性和/或將樣品的溫度保持在低值。
SI 500 CCP
RIE 蝕刻機，帶可選的 ICP 源擴展
技術和特點：
SI 500 RIE
·600 瓦，13.56 MHz·360 升/秒渦輪分子泵·旋轉前級泵·磁電機氣動負載鎖·12/16 根燃氣管線·帶機械晶圓夾緊的電極·最 大 8 英寸晶圓·OES、SLI 可選SI 500 CCP
1360 l/s 渦輪分子泵
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