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德國Sentech 反應(yīng)離子刻蝕機(jī) Etchlab 200

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產(chǎn)品特點

德國Sentech 反應(yīng)離子刻蝕機(jī) Etchlab 200,最大 8 英寸晶圓,硅及相關(guān)材料的蝕刻

詳細(xì)介紹

德國Sentech 反應(yīng)離子刻蝕機(jī) Etchlab 200

主要特點

·打開蓋子

·可升級

·成本效益


應(yīng)用特點

·硅及相關(guān)材料的蝕刻

·金屬濺射

·亞微米蝕刻


技術(shù)特點

·600 瓦,13.56 MHz

·360 升/秒渦輪分子泵

·旋轉(zhuǎn)前級泵

·打開蓋子

·2-12 根燃?xì)夤芫€

·最 大  8 英寸晶圓

·占地面積小

·更多的氣體管線,更大的TP、OES、SLI 可選

Etchlab 200 反應(yīng)離子刻蝕機(jī).png

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