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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機PR500
- 品牌：日本雅馬拓
- 型號： PR500
- 產地：亞洲 日本
- 供應商報價：面議
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浚和（上海）儀器科技有限公司
更新時間：2025-03-20 16:33:45 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業執照已審核
- 同類產品等離子清洗機(8件)
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產品特點
- 低溫等離子·經典桶型。
詳細介紹
低溫等離子·經典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
內槽
硅晶圓灰化狀態
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應
用途
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計
規格：型號
PR500
PR510
等離子模式
DP模式，桶形
高頻輸出功率
Max500W
頻率
13.56MHz
同調方式
自動協調
反應腔
石英Φ215×305mm
反應氣體
2系統（O2／CF4）
控制
手動
觸模屏自動控制
配管材質
不銹鋼、特氟龍
外形尺寸
W438 x D520 x H760mm
參照規格書
重量
約60kg
參照規格書
電源
單相AC100V 9A
三相AC200V 8A
滬公網安備 31011502008050號