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德國SPS勻膠機SPIN200i

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詳細介紹

1勻膠機工作原理:

勻膠機SPIN200i(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

2、勻膠機型號及技術參數如下:

三、SPIN200i勻膠機的特點:

1、該勻膠機采用德國先進技術:
2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質構造設計,這種材質有很好的抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
3、勻膠機真空Chuck經精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調整墊,可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調節轉速調節涂覆厚度。
5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調壓閥和節流閥實現調節,與配套真空泵一同使用。

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